Введение
1. Информационный обзор и анализ проблемы определения механических напряжений и деформаций тензочувствительными элементами 11
1.1 Общая характеристика проблемы определения механических напряжений и деформаций
1.2 Краткий анализ тензорезисторных средств контроля, применяемых для определения механических напряжений и деформаций 26
1.3 Постановка задачи исследования влияния деформации на параметры полупроводниковых структур и пути ее решения 39
1.4 Выводы 42
2. Исследование и анализ влияния деформации на основные электрофизические параметры полупроводникового тензочувствительного элемента на основе МДП-структуры 44
2.1 Влияние деформации на изменение концентрации носителей заряда 45
2.2 Формирование области пространственного заряда 50
2.3 Деформационная зависимость подвижности носителей заряда с учетом полевого эффекта 56
2.4 Выводы 59
3. Математическая модель физических процессов, происходящих в тензочувствительном элементе на основе мдп-структуры при одноосной упругой деформации 60
3.1 Разработка математической модели 60
3.2 Влияние электрофизических параметров на выходной сигнал тензочувствительного элемента 63
3.3 Влияние топологических и электрических параметров на выходной сигнал тензочувствительного элемента 65
3.4 Методика разработки тензочувствительных элементов с заданными метрологическими характеристиками 69
3.5 Выводы 74
4. Разработка конструкций интегральных тензопреобразователей и микропроцессорной системы неразрушающего контроля напряженно-деформированного состояния материалов 76
4.1 Основные технологические этапы изготовления тензочувствительного элемента 76
4.2 Влияние технологических операций на метрологические характеристики тензочувствительного элемента 88
4.3 Метрологический анализ разработанного тензочувствительного элемента
4.4 Разработка конструкций интегральных тензопреобразователей 104
4.5 Структурная схема и принцип работы микропроцессорной системы неразрушающего контроля напряженно-деформированного состояния материалов
4.6 Выводы
Заключение 109
Список используемой литературы 111
Приложения 121
