Разработка процессов и оборудования для изменения структурного состояния тонкопленочных слоев оптических и магнитооптических носителей информации
Кузьминых, Александр Сергеевич. Разработка процессов и оборудования для изменения структурного состояния тонкопленочных слоев оптических и магнитооптических носителей информации : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06, 05.11.14 / Кузьминых Александр Сергеевич; [Место защиты: ОАО "ЦНИТИ "Техномаш"].- Москва, 2011.- 109 с.: ил. РГБ ОД, 61 11-5/1815
