Введение
ГЛАВА 1. Обзор литературы и постановка задачи 15
1.1 Энергоанализаторы пучков заряженных частиц 15
1.1.1 Анализатор с задерживающим полем 16
1.1.2 Анализаторы типа цилиндрическое зеркало 17
1.1.3 Полусферический концентрический анализатор 20
1.1.4 Анализаторы с гексапольно-цилиндрическим зеркалом 22
1.2 Масс-спектрометры заряженных частиц 24
1.2.1 Селективные масс-спектрометры 25
1.2.2 Времяпролетные масс-спектрометры 28
1.2.3 Масс-спектрометры на основе ионно-циклотронного 1.3 Комбинированный анализ поверхности 32
1.4 Выбор методов численного моделирования 33
1.5 Основные результаты. Постановка задачи исследования 35
ГЛАВА 2. Разработка длиннофокусного оже-микрозонда 37
2.1 Обоснование выбора инструмента моделирования электронно- и ионно-оптических систем 37
2.2 Разработка электронно-оптической системы длиннофокусного анализатора энергий 48
2.3 Разработка электронно-оптической системы длиннофокусной электронной пушки
2.3.1 Обоснование выбора параметра оптимизации 54
2.3.2 Конструкция катодно-модуляторного узла 57
2.3.3 Оптимизация катодно-модуляторного узла 60
2.3.4 Учет пространственного заряда 68
2.3.5 Тепловой режим КМУ 78
2.3.6 Транспортировка электронного потока на мишень 82
2.4 Основные результаты 85
ГЛАВА 3. Фокусировка электронных пакетов в линзах с импульсным питанием 87
3.1 Исследование фокусирующих свойств одиночной линзы в режиме импульсного питания 87
3.2 Оценка времени пролета пакета электронов через одиночную линзу 92
3.3 Основные результаты 94
ГЛАВА 4. Фокусировка пакетов заряженных частиц в системах изотраекторной оптики 95
4.1 Фокусировка пакетов заряженных частиц в изотраекторных линзах 96
4.2 Масс-анализ пакетов заряженных частиц в изотраекторном режиме 99
4.3 Анализатор энергий и масс заряженных частиц 105
4.4 Основные результаты 112
ГЛАВА 5. Разработка конструкции длинно–фокусного оже-микрозонда 113
5.1 Разработка конструкции длиннофокусного АЦЗ 114
5.2 Разработка конструкции длиннофокусной электронной пушки 121
5.3 Основные результаты 127
Заключение 128
Библиографический список 133
