Разработка системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления
Нечаев, Михаил Анатольевич. Разработка системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления : диссертация ... кандидата технических наук : 05.09.03 / Нечаев Михаил Анатольевич; [Место защиты: Том. политехн. ун-т].- Томск, 2010.- 135 с.: ил. РГБ ОД, 61 11-5/1045