Разработка способа выращивания профильных монокристаллов кремния из расплава методом Чохральского

Силаев Иван Вадимович. Разработка способа выращивания профильных монокристаллов кремния из расплава методом Чохральского : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Силаев Иван Вадимович; [Место защиты: Моск. ин-т стали и сплавов].- Владикавказ, 2008.- 177 с.: ил. РГБ ОД, 61 09-5/1010
Автор
Силаев Иван Вадимович
Год
2008
  • 99 000 UZS

Оглавление диссертации
Введение
Глава 1. Литературный обзор 10
1.ІМетод Чохральского 10
1.1.1 Теория метода 10
1.1.2 Тепловые условия роста 13
1.1.3 Форма и свойства монокристаллов 16
1.2 Метод Поганского 17
1.3 Получение профильных монокристаллов методом Степанова 18
1.3.1 Сущность метода 18
1.3.2 Конструкции формообразователей 27
1.3.3 Устойчивость процесса роста 32
1.3.4 Тепловые условия роста 35
1.3.5 Дефекты профильных монокристаллов 37
1.4. Выводы и постановка задачи 40
Глава 2. Моделирование тепловых условий выращивания монокристаллов трубчатой формы методом чохральского 42
2.1 Расчет высоты столбика расплава при выращивании монокристаллов по методу Чохральского и ее влияние на постоянство диаметра растущего кристалла 42
2.2. Исследование процессов теплообмена в замкнутой системе и определение возможности получения полых кристаллов 47
2.3 Решение сопряженных задач теплообмена с учетом реальной геометрии теплового узла 50
2.4 Моделирование распределения температуры в модернизированном тепловом узле и в системе цилиндрическая затравка—расплав при различных положениях тигля 51
Заключение
Выводы
Список литературы

Рекомендуем вам товары

99 000 UZS
Автор
Гайстер Александр Владимирович
Количество страниц
Год
2007
99 000 UZS
Автор
Ивлева Людмила Ивановна
Количество страниц
Год
2007
Модули для Opencart 2, Опенкарт 3