Разработка технологических основ формирования многослойных пленок с комплексом функциональных свойств на основе наноструктурированных и поликристаллических слоев нитридов элементов III и IV групп периодической системы
Каменева, Анна Львовна. Разработка технологических основ формирования многослойных пленок с комплексом функциональных свойств на основе наноструктурированных и поликристаллических слоев нитридов элементов III и IV групп периодической системы : диссертация ... доктора технических наук : 05.16.09 / Каменева Анна Львовна; [Место защиты: Моск. гос. индустр. ун-т].- Москва, 2013.- 454 с.: ил. РГБ ОД, 71 15-5/219
