Введение
Анализ методов формирования кремниевых пьезорезистивных чувствительных элементов микромеханических акселерометров 13
1.1 Основные методы и способы формирования кремниевых чувствительных элементов микромеханических акселерометров 13
1.2 Конструктивные особенности кремниевых пьезорезистивных чувствительных элементов микромеханических акселерометров 26
1.3 Конструктивно-технологические решения высокотемпературных пьезорезистивных чувствительных элементов микромеханических акселерометров 34
2 Обоснование и выбор конструктивно-технологических решений кремниевых пьезорезистивных чувствительных элементов микромеханических акселерометров 45
2.1 Обоснование конструктивно-технологических решений кремниевого кристалла чувствительного элемента 45
2.2 Аналитическая модель управления электрическими свойствами кремниевых пьезорезистивных чувствительных элементов микромеханических акселерометров 55
2.3 Технологическая модель кремниевых пьезорезистивных чувствительных элементов микромеханических акселерометров 69
2.4 Моделирование кремниевого чувствительного элемента микромеханического акселерометра 82
3 Разработка технологии формирования кремниевых пьезорезистивных чувствительных элементов микромеханических акселерометров 89
3.1 Конструктивно-технологическое исполнение кремниевого кристалла чувствительного элемента 90
3.2 Формообразование структуры кремниевого пьезорезистивного чувствительного элемента микромеханического акселерометра методами управляемого травления 95
3.3 Формирование измерительной схемы 104
3.4 Разработка технологического маршрута изготовления 109
4 Разработка методик и исследование выходных параметров кремниевых пьезорезистивных чувствительных элементов микромеханических акселерометров 123
4.1 Методика измерения электрических параметров чувствительных элементов 124
4.2 Результаты исследования электрических параметров чувствительных элементов 126
4.3 Методика определения температурных коэффициентов сопротивления пьезорезисторов и терморезистора ЧЭ 129
4.4 Результаты исследования температурных коэффициентов сопротивления пьезорезисторов и терморезистора чувствительных элементов,
изготовленных по различным технологическим режимам 131
4.5 Методика исследования начального выходного напряжения ЧЭ от температуры 135
4.6 Результаты исследования начального выходного напряжения ЧЭ от температуры 136
4.7 Методика исследования выходного напряжения ЧЭ от воздействия ускорения 137
4.8 Результаты исследований выходного напряжения ЧЭ от воздействия ускорения 138
Заключение 145
Список использованных источников
