Разработка технологии микроплазменного осаждения функциональных покрытий с элементами наноструктуры
Шолкин, Сергей Евгеньевич. Разработка технологии микроплазменного осаждения функциональных покрытий с элементами наноструктуры : диссертация ... кандидата технических наук : 05.16.01 / Шолкин Сергей Евгеньевич; [Место защиты: С.-Петерб. гос. политехн. ун-т].- Санкт-Петербург, 2010.- 178 с.: ил. РГБ ОД, 61 11-5/1540