Введение
ГЛАВА 1. Состояние вопроса. цель и задачи исследования
1.1 .Особенности конструкции блока чувствительных элементов и технологии их создания 7
1.2. Современное состояние теории диффузионной сварки 11
1.3.Диффузионная сварка кремния с металлами 22
1 АПатентный поиск по теме 26
1.5.Цель и задачи работы 27
ГЛАВА 2. Методика экспериментальных исследований
2.1 .Характеристика исходных материалов 30
2.2. Оборудование диффузионной сварки и приспособления 33
2.3. Технология подготовки материалов под сварку .35
2.4.Методика измерения площади физического контакта. 37
2.5.Методика оценки развития объемного взаимодействия 41
2.6,Оптическая и электронная микроскопия 44
2.7.Методика определения механической прочности на срез 45
Выводы по главе 2 47
ГЛАВА 3. Исследование закономерностей формирования сварного соединения монокристалла кремния с алюминиевой фольгой диффузионной сваркой
3.1.Исследование кинетических закономерностей формирования физического контакта 48
3.2. Исследование кинетических закономерностей развития объемного взаимодействия
3.3.Характер взаимодействия монокристалла кремния с алюминиевой фольгой .75
Выводы по главе 3 83
ГЛАВА 4. Разработка технологических процессов соединения монокристалла кремния с алюминиевой фольгой при создании блоков чувствительных элементов датчиков акселерометров прецизионных приборов
4.1 .Определение оптимальных параметров процесса сварки 84
4.2. Диффузионная сварка блока чувствительных элементов АЦ 89
Выводы по главе 4 94
Общие выводы 95
Литература
