Разработка технологии послеростовой обработки приборов на основе широкозонных полупроводниковых материалов
Черных Сергей Петрович. Разработка технологии послеростовой обработки приборов на основе широкозонных полупроводниковых материалов : диссертация ... кандидата технических наук : 05.11.14 / Черных Сергей Петрович; [Место защиты: Моск. гос. ун-т приборостроения и информатики].- Москва, 2007.- 153 с.: ил. РГБ ОД, 61 08-5/193