Разработка технологии производства кремниевых эпитаксиальных структур для силовых приборов
Харламов, Роман Валентинович. Разработка технологии производства кремниевых эпитаксиальных структур для силовых приборов : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06.- Москва, 2000.- 166 с.: ил. РГБ ОД, 61 01-5/1156-9