Введение
Глава 1. Современное состояние вопросов исследования локальной химической структуры поверхности материалов 12
1.1.РФЭС,ЭОСиВИМС 12
1.2. Сканирующая зондовая микроскопия 16
1.3. Химическая силовая микроскопия 23
1.4. Основные направления развития ХСМ 26
1.4.1. Картографирование химической структуры поверхности в латеральном режиме 27
1.4.2. Различные способы усиления химического контраста на АСМ-изображениях 30
1.4.3. Построение "карт" химической структуры поверхности по силам силам адгезии зонда к поверхности 38
1.5. Оборудование зондовых микроскопов устройствами, позволяющими проводить физико-химические исследования 40
1.5.1. Газожидкостные и электрохимические ячейки 40
1.5.2. Устройства позиционирования зонда 50
Глава 2. Объекты и методы исследования 57
2.1. Объекты исследования 57
2.2. Методы исследования 61
2.2.1. Сканирующая зондовая микроскопия 61
2.2.2. Метод качественной оценки остроты игл зондов 66
2.2.3. Рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия 68
2.2.4. Метод селективных химических реакций 68
2.2.5. Методика определения толщины и прочности органического покрытия... 69
2.2.6. Метод измерения краевого угла смачивания 70
2.2.7. Методика плазменной обработки кремниевых зондов и моделирующих их кремниевых пластинок 72
Глава 3. Устройство позиционирования зонда 74
3.1. Первоначальная конструкция устройства позиционирования зонда микроскопа 75
3.2. Конструкция модернизированного устройства позиционирования зонда микроскопа 77
3.3. Основные принципы настройки и работы с устройством 79
3.4. Тестовые испытания разработанного устройства позиционирования зонда 81
Глава 4. Модификация поверхности кремниевых зондов в низкотемпературной
плазме 94
Глава 5. Газожидкостная ячейка закрытого типа 106
5.1. Конструкция ячейки 107
5.2. Основные принципы работы с ячейкой 115
5.3. Тестовые испытания разработанной ячейки 122
5.4. Исследование в ячейке экспериментального объекта 128
Выводы 136
Список используемой литературы 138
