Развитие аппаратно-методических средств атомно-зондовой технологии для получения и диагностики наноразмерных объектов
Пермяков Никита Вадимович. Развитие аппаратно-методических средств атомно-зондовой технологии для получения и диагностики наноразмерных объектов: диссертация ... кандидата Технических наук: 05.27.06 / Пермяков Никита Вадимович;[Место защиты: ФГАОУ ВО «Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» им. В.И.Ульянова (Ленина)»], 2018