Введение
1. Атомно-Силовая Микроскопия: общие принципы, инструменты, методы измерения и область применения 9
1.1 Принцип работы АСМ 9
1.2 Методы АСМ измерений 12
1.3 Автоматизация АСМ измерений 21
1.4 Область применений АСМ 22
1.5 Постановка задачи 25
2. Двумерные фазовые карты: режимы притяжения и отталкивания в полуконтактном методе атомно-силовой микроскопии 27
2.1 Модель, описывающая поведение кантилевера в полуконтактном методе 27
2.2 Решение уравнения движения кантилевера 30
2.3 Зависимость амплитуды, средней силы и времени контакта от расстояния 33
2.4 Частотный отклик кантилевера 36
2.5 Определение сдвига фазы для различных режимов и фазовый критерий 40
2.6 Переход на амплитудных и фазовых кривых 42
2.7 Выбор рабочей точки и фазовый контраст 45
2.8 Двумерные фазовые карты как инструмент для определения режима взаимодействия 48
2.9 Влияние свойств материала на переход между режимами 52
2.10 Влияние жесткости кантилевера 54
2.11 Влияние адгезии 55
2.12 Выводы 57
3. Автоматизированные способы оптимизации для работы в режиме притяжения полуконтактного метода 59
3.1 Преимущества режима притяжения 59
3.2 Шумы фазы 60
3.3 Размеры области притяжения 62
3.4 Автоматический выбор параметров для работы в режиме притяжения 66
3.5 Настройка режима притяжения путем построения двумерных карт 69
3.6 Настройка параметров сканирования путем автоматического перебора 74
3.7 Интеграция с экспертной системой 80
3.8 Выводы 80
4. Поточечные измерения рельефа, сил взаимодействия и локальных свойств в Атомно-Силовой Микроскопии 82
4.1 Принцип работы поточечной методики 82
4.2 Сравнение поточечной, контактной и полуконтактной методик...87
4.3 Измерение упругих свойств 91
4.4 Измерение адгезионных свойств 93
4.5 Измерения в жидких средах 95
4.6 Применение поточечной методики 98
4.7 Интерфейс модуля поточечной методики 102
4.8 Выводы 104
Заключение 106
Список литературы 107
