Введение
Глава 1. Анализ современных зондовых методов диагностики электрическогопотенциала поверхности гетерогенных объектов 9
1.1 Электронно-зондовая микроскопия 9
1.2 Атомно-силовая микроскопия 23
1.2.1 Контактная атомно-силовая микроскопия 26
1.2.2 Колебательные методики атомно-силовой микроскопии 28
1.2.3 «Полуконтактный» метод атомно-силовой микроскопии 29
1.2.4 Микроскопия электростатических сил 31
Глава 2. Методики измерения электрического потенциала на поверхности гетерогенных объектов 38
2.1 Измерение электрического потенциала в электронно-зондовом тестере 38
2.1.1 Устройство энергоанализатора 41
2.1.2 Проведение стробоскопических измерений электрического потенциала в электронно-зондовом тестере 45
2.2 Аппаратура для контроля электрического потенциала поверхности гетерогенных объектов на основе электронно-зондового тестера 49
2.3 Измерение электрического потенциала методом атомно-силовой микроскопии 52
2.4 Аппаратура для контроля электрического потенциала поверхности гетерогенных объектов на основе атомно-силового микроскопа 62
2.5 Формирование тестовых структур и подготовка гетерогенных объектов для проведения измерений методами электронно-зондовой и атомно-силовой микроскопии 67
2.5.1 Описание тестовых структур 67
2.5.2 Подготовка гетерогенных объектов для анализа с помощью электронно-зондовой и атомно-силовой микроскопии 73
2.5.2.1 Технологические методы удаления корпусов микросхем, защитно-изолирующих и металлических покрытий 74
Глава 3. Исследование зондовыми методами гетерогенных объектов 80
3.1 Измерение электрофизических параметров различных материалов и структур методами атомно-силовой микроскопии 80
3.1.1 Измерение работы выхода различных материалов 83
3.1.2. Измерение типа проводимости 85
3.1.3 Расчет концентрации электрически активных примесей 89
3.2 Измерение электрического потенциала на поверхностях и сколах многослойных структур 96
Глава 4. Измерение логического состояния микросхем памяти 103
4.1 Виды микросхем памяти 103
4.2 Оценка чувствительности и локальности методов электростатической силовой микроскопии и зонда Кельвина 112
4.3 Методика определения логического состояния ячеек памяти EPROM и EEPROM 119
Выводы по работе 131
Список литературы 132
