Введение
ГЛАВА 1 Теоретические и экспериментальные подходы к описанию взаимодействия в системе «газ - твердое
1.1. Процессы, происходящие на межфазной границе «газ - твердое тело» 14
1.2. Параметры для описания рекомбинации атомов в молекулу и вклада этой реакции в обмен энергией в системе газ - твердое тело и факторы, влияющие на них 27
1.3. Экспериментальные и теоретические исследования процессов рекомбинации атомов и аккомодации химической энергии 34
1.3.1. Влияние температуры поверхности 37
1.3.2. Влияние давления газа 40
1.3.3. Влияние природы материала 41
1.3.4. Влияние механизма реакции 42
ГЛАВА 2 Экспериментальное исследование рекомбинации атомов кислорода на поверхности
2.1. Метод исследования и экспериментальная установка 44
2.1.1. Экспериментальная установка 44
2.1.2. Методика определения коэффициента аккомодации химической энергии Р с помощью пирометра и калориметра 47
2.1.3. Методика определения коэффициента рекомбинации у с использованием метода актинометрии 50
2.1.3.1. Метод измерения профиля относительной концентрации: метод актинометрии 53
2.1.3.2. Методы определения температуры газа из вращательного спектра N2 56
2.2. Проведение эксперимента 59
2.3. Результаты и их обсуждение 61
2.3.1. Результаты актинометрии 61
2.3.2. Результаты измерения температуры газа 63
2.3.3. Результаты определения коэффициента рекомбинации атомов кислорода на поверхности карбида кремния 65
ГЛАВА 3 Эволюция. структуры поверхности карбида кремния при взаимодействии с потоком газа ... 70
3.1. Свойства карбида кремния 70
3.2. Традиционные подходы к описанию микроструктуры поверхности 73
3.3. Описание исследуемых образцов 78
3.4. Параметры воздействия газового потока на образцы 78
3.5. Методы анализа структуры и химического состава исходных образцов и подвергшихся взаимодействию с потоком газа 78
3.4.1. Атомно-силовая микроскопия 79
3.4.2. Сканирующая электронная микроскопия 81
3.4.3. Рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия 82
3.5. Обсуждение результатов 87
3.5.1. Взаимодействие поверхности карбида кремния с кислородом 87
3.5.2. Взаимодействие поверхности карбида кремния с азотом 89
ГЛАВА 4 Исследование взаимодействия газа с поверхностью диоксида кремния методом молекулярной динамики .. 91
4.1. Метод молекулярной динамики 91
4.1.1. Основные пришгипы метода молекулярной динамики 91
4.1.2. Граничные условия 93
4.1.3. Прогнозируемые свойства 94
4.2. Постановка задачи 95
4.2.1. Структура (3-кристобалита 95
4.2.2. Потенциал взаимодействия для системы Si - О 98
4.3. Анализ траекторий 104
4.4. Вычисление коэффициента рекомбинации ПО
Выводы
Литература
