Введение
Глава 1. КНД-Технологии. способы создания монокристаллического слоя 13
1.1. Зонная рекристаллизация поликристаллического кремния.
1.1.1. Лазерная рекристаллизация. 15
1:1.2.. Рекристаллизация полосковым нагревателем 19
1.1.3. Рекристаллизация источниками некогерентного излучения 23
1.1.4. Электронно-лучевая рекристаллизация. 25
1.2. Дефекты рекристаллизованного слоя 26
1.3. Способы улучшения кристаллографического совершенства рекристаллизуемого слоя 33
1.4; Выводы 39
Глава 2. Решение уравнения теплопроводности для процесса электронно-лучевой рекристаллизации поликремния на диэлектрике .. 42
2.1. Решение задачи без учета графитового основания и фазового перехода. 43
2.2. Анализ теплового состояния структуры без учета графитового состояния и фазового перехода . 54
2.3. Моделирование и анализ теплового состояния структуры с учетом влияния графитового состояния 66
2.4. Теплофизическое состояние структуры на этапах плавления, кристаллизации 77
2.5: Моделирование термодинамического состояния многослойной структуры, обрабатываемой плоским электронным лучом. 92
2.6. Термокапиллярное перераспределение расплавленного поликремния. 100
2.7. Выводы. 108
Глава 3. Рекристаллизация поликремния электронным лучом ленточной формы 109
3.1. Организация процесса рекристаллизации 109
3.2. Свойства исходного слоя поликремния 116
3.3. Исследование процесса перекристаллизации поликремния н< изолирующем основании 117
3.4. Исследование кристаллографической структуры рекристаллизованных пленок 124
3.4.1. Влияние кристаллографических дефектов на свойства рекристаллизованного кремния 124
3.4.2. Методы анализа кристаллографического состояния рекристаллизованного слоя 126
3.4.3. Исследование кристаллографической структуры плен< Si, рекристаллизованных на диэлектрике без использования затравок 128
3.4.4. Механизмы образования структурных дефектов в процессе рекристаллизации 140
3.5. Исследование морфологии рекристаллизованного кремния ... 144
3.6. Выводы. 154
Основные результаты и выводы 156
Список используемой литературы 158
Приложение 1.
