Введение
Глава 1. Рентгеновская рефлектометрия для исследования структуры материалов (литературный обзор) 11
1.1. Отражение рентгеновской волны от гладкой поверхности. 11
1.2. Глубина проникновения излучения и интерференция на тонких пленках 16
1.3. Отражение от многослойных покрытий. 19
1.4. Влияние приповерхностного переходного слоя и шероховатости поверхности 23
1.5. Диффузное рассеяние и шероховатость поверхности 26
1.6. Обратная задача в рефлектометрии ЗI
1.7. Экспериментальные установки 34
1.8. Заключение 38
1.9.Приложение 38
Глава 2. Описание экспериментальной установки, методики эксперимента и обработки экспериментальных данных 42
2.1.Экспериментальная установка 42
2.2. Методика проведения эксперимента 47
2.3. Обработка экспериментальных результатов 50
2.4. Анализ ошибок эксперимента 53
Глава 3. Рентгеновские исследования микрошероховатости подложек 58
3.1. Экспериментальные результаты по исследованию подложек из различных материалов 58
3.2. Факторы, влияющие на гладкость поверхности. 65
3.3. Сравнение различных методов контроля качества поверхности 71
3.4. Исследование шероховатости вогнутых образцов с использованием эффекта шепчущей галереи. 82
3.5. Заключение 84
Глава 4. Учет влияния приповерхностного слоя с переменной плотностью на отражение и рассеяние рентгеновских лучей 85
4.1. Коэффициент отражения при наличии переходного слоя 86
4.2. Индикатриса рассеяния 87
4.3. Экспериментальные результаты 91
Глава 5. О связи рельефа подложки и нанесенной на нее пленки 100
Глава 6.Анализ многослойных структур на примере системы WZB4C 112
Глава 7. Базовый рентгеновский дифрактометр с подвижной системой «излу чател ь-дете ктор» 124
7.1. Общее описание прибора 124
7.2. Датчики угловых перемещений 128 7.3,Система управления 132
7.4, Примеры использования прибора 136
7.5, Заключение 141 142
Глава 8. Рентгеновская микроскопия. (Литобзор) 142
8.1. Введение 142
8.2. Контактная микроскопия 146
8.3. Зонные пластинки Френеля для рентгеновского излучения 160
8.4. Заключение 168
Глава 9. Рентгеновский микроскоп Шварцшильда 169
9.1. Введение 169
9.2. Объектив Шварцшильда 172
9.3. Эксперименты и обсуждение 173
9.4 .Заключение 182
Глава 10. Экспериментальная установка для контактной микроскопии и работы с рентгенооптическими элементами 183
10.1. Малоугловой дифрактометр АМУР-1 183
10.2. Формирование пучка 184
10.3. Модернизация дифрактометра АМУР-] 185
10.4. Возможные схемы эксперимента 188
10.5. Примеры использования модифицированного дифрактометра АМУР-1 198
10.6. Заключение
