Введение
Глава 1. Рентгеновский дефлектор 23
1.1. Решаемая задача 23
1.2. Многослойные рентгеновские зеркала с широкой угловой областью отражения 24
1.2.1. Физические принципы расширения угловой области отражения 24
1.2.2. Теория многослойных зеркал с равномерной кривой отражения 26
1.2.3. Физические ограничения 38
1.2.4. Типичные структуры 41
1.3 Экспериментальная реализация рентгеновского дефлектора 43
1.3.1. Оптическая схема 43
1.3.2. Ошибки позиционирования луча и область рабочих углов 45
1.4. Области применения рентгеновского дефлектора 46
1.4.1. Растровый рентгеновский микроскоп 47
1.4.2. Автоматическая юстировка пучков 51
1.5. Теория составной рентгеновской линзы 52
1.6. Основные оригинальные результаты первой главы 66
Глава 2. Рентгеновский интерферометр Фабри-Перо 67
2.1. Решаемая задача 67
2.2. Многослойные рентгеновские зеркала с резонансным поглощением 69
2.2.1. Кинематическая теория 69
2.2.2. Динамическая теория 72
2.2.3. Результаты моделирования 80
2.3 Формирование темнопольных фазоконтрастных изображений 85
2.3.1. Принцип угловой селекции 85
2.3.2. Отношение сигнал-шум 85
2.3.3. Контраст изображения и пространственная разрешающая способность детектора 87
2.3.4. Результаты моделирования 91
2.4. Экспериментальные результаты 92
2.4.1. Многослойное зеркало 92
2.4.2. Зондирующий пучок 96
2.4.3. Изображения микрообъектов 97
2.5. Основные оригинальные результаты второй главы 102
Глава 3. Параболический коллиматор с управляемым профилем выходного потока 104
3.1. Решаемая задача 104
3.2. Физический принцип управления профилем выходного потока 105
3.3 Экспериментальная реализация параболического коллиматора с управляемым профилем выходного потока 108
3.3.1. Многослойное параболическое зеркало 108
3.3.2. Измерение профиля выходного потока 114
3.3.3. Измерение расходимости 115
3.4. Рентгеновский сканирующий топоскоп 120
3.4.1. Принцип измерения шероховатости 121
3.4.2. Оптическая схема 123
3.4.3. Экспериментальные результаты 127
3.5. Основные оригинальные результаты третьей главы 138
Глава 4. Гибкие эллиптические зеркала с многослойным покрытием 140
4.1. Решаемая задача 140
4.2. Теоретическое исследование фокусировки рентгеновских пучков гибкими эллиптическими зеркалами 142
4.2.1. Оптическая схема 142
4.2.2. Форма зеркал, изгибающихся по эллипсу 143
4.2.3. Фокусировка пучков 153
4.3 Тип покрытия для гибких эллиптических рентгеновских зеркал 163
4.4. Многослойные покрытия с боковым градиентом периода 165
4.4.1. Принцип формирования бокового градиента периода 165
4.4.2. Метод расчета щелевой диафрагмы 166
4.4.3. Экспериментальные результаты 167
4.5. Двухзеркальная фокусирующая система с сопряженными зеркалами 168
4.6. Основные оригинальные результаты четвертой главы 176
Глава 5. Оптимизация рентгеновских многослойных покрытий с переменным периодом 178
5.1. Решаемая задача 178
5.2 Методы решения обратных задач для рентгеновских многослойных покрытий 179
5.2.1. Начальное приближение 179
5.2.2. Ускорение вычислений прямой задачи 184
5.2.3. Задача синтеза многослойных структур с заданной кривой отражения 187
5.2.4. Задача анализа многослойных структур по измеренным кривым отражения 189
5.3. Программный пакет для оптимизации многослойных рентгеновских зеркал 190
5.3.1. Программы синтеза 192
5.3.2. Программы анализа 206
5.3.3. Вспомогательные программы 209
5.4. Основные оригинальные результаты пятой главы 209
Основные результаты, полученные в диссертации 211
Литература 215
