Введение
Глава 1. Рентгеновские многослойные дифракционные решетки (МДР) (обзор литературы) 9
1.1 Типы МДР 9
1.2. Требования к структуре и анализ возможных методов изготовления МДР 14
1.3 Описание дифракционных свойств МДР 17
1.4. Исследования рентгенооптических свойств МДР 23
1.5. Применение МДР 27
Глава 2. Численное моделирование рентгенооптических свойств МДР 34
2.1. Сравнение современных методов расчета рентгенооптических свойств МДР 35
2.2. Результаты численного моделирования дифракционных свойств МДР .42
Глава 3. Изготовление рентгеновских МДР 56
3.1. Изготовление многослойных рентгеновских зеркал 56
3.2. Метод голографической литографии 59
3.2.1. Стенд для голографической записи дифракционных решеток 61
3.2.2. Формирование маски для ионно-лучевого травления 65
3.2.3. Ионно-лучевое травление МДР 73
3.3 Особенности изготовления W/Si, Ni/C, и Ті/Be МДР 78
Глава 4. Экспериментальное исследование дифракционных характеристик МДР 80
4.1. Исследование дифракционной эффективности многослойных решеток в жестком рентгеновском диапазоне спектра (7-9 кэВ) 82
4.1.1. Регистрация характеристического спектра рентгеновской трубки с медным анодом в жесткой области (8 кэВ) 95
4.2. Исследование дифракционных характеристик многослойных решеток в мягком рентгеновском диапазоне (280 эВ)
Глава 5. Новые типы рентгеновских дифракционных решеток на основе многослойных структур 106
5.1. Рентгеновская фазовая многослойная решетка скользящего падения 107
Глава 6. Применение рентгеновских дифракционных решеток на основе многослойных структур для спектроскопии мягкого рентгеновского диапазона 116
6.1. Схема спектрометра MP излучения на основе многослойной фазовой дифракционной решетки скользящего падения для исследования контуров спектральных линий горячей плазмы 122
Заключение 127
Приложение А. Метод собственных векторов для расчета полностью протравленной МД 131
