Сенсорные МДП-элементы для полупроводниковых интегральных водородочувствительных датчиков
Никифорова Марина Юрьевна. Сенсорные МДП-элементы для полупроводниковых интегральных водородочувствительных датчиков : диссертация ... кандидата технических наук : 05.13.05.- Москва, 2003.- 123 с.: ил. РГБ ОД, 61 03-5/2578-6