Введение
1 Современное состояние и проблемы голографической фотолитографии 11
2 Требования, предъявляемые к параметрам синтеза голограмм-проекторов, предназначаемых для использования в голографическом фотолитографическом процессе 2.1 Влияние проекционного объектива на период дискретизации голограммы и размер фокального пятна генератора изображений 33
2.2 Оптимизация параметров дискретизации голограммы, обеспечивающих минимизацию потерь качества восстанавливаемых изображений 36
2.3 Выбор оптимальных параметров оптической системы 41
2.4 Выводы 44
3 Программный комплекс синтеза и цифрового восстановления голограмм проекторов сфокусированного изображения, работающих совместно с проекционным объективом 46
3.1 Анализ методов вычисления комплексной амплитуды объектной волны в плоскости синтеза голограммы-проектора 46
3.2 Метод синтеза голограммы-проектора сфокусированного изображения на основе составления таблицы соответствия 56
3.3 Оценка временной эффективности модифицированного метода таблиц соответствия 63
3.4 Вычисление комплексной амплитуды опорной волны 67
3.5 Метод восстановления голограмм-проекторов 68
3.6 Особенности программной реализации программного комплекса 69
3.7 Выбор критерия качества восстановленного изображения и его обоснование 71
3.8 Испытание работоспособности программного комплекса 72
3.9 Выводы 77
4 Коррекционные возможности голограмм-проекторов сфокусированного изображения 78
4.1 Экспериментальное определение предельных отклонений геометрических параметров схемы восстановления голограмм-проекторов 79
4.2 Определение коэффициента коррекции аберраций оптической системы голограммой-проектором сфокусированного изображения 82
4.3 Выводы 89
5 Сравнительный анализ методов проекционной голографической фотолитографии, основанных на голограммах-проекторах Френеля и сфокусированного изображения 90
Заключение 93
Список литературы 95
