Введение
ГЛАВА 1. Методы получения, структура и свойства алмазоподобных плёнок углерода (обзор) 9
ГЛАВА 2. Техника и методика экспериментов 26
2.1. Оптическая спектроскопия отражения и пропускания
2.2. Эллипсометрия
2.3. Спектроскопия комбинационного рассеяния
2.4. Исследование структуры и фазового состава
2.5. Техника ионной имплантации
2.6. Методика измерения температурной зависимости электросопротивления
2.7. Техника отжига
ГЛАВА 3. Разработка метода синтеза алмазоподобных плёнок углерода с использованием процесса ионно-стимулированного осаждения графита 31
3.1. Схема установки для синтеза алмазоподобных плёнок углерода
3.2. Методики приготовления образцов
3.3. Экспериментальные результаты и их обсуждение
ГЛАВА 4. Оптическое поглощение 7С-кластеров (расчёт и эксперимент) 54
ГЛАВА 5. Исследование влияния параметров ионной имплантации на структуру, оптические и электрофизические свойства алмазоподобных плёнок углерода 63
5.1. Исследование влияния имплантации лёгких ионов ( С) 1 -э 1
5.2. Исследование влияния имплантации тяжёлых ионов ( Хе)
5.3. Исследование влияния химической природы внедряемых ионов ( N)
5.4. Термический отжиг алмазоподобных плёнок углерода в атмосфере азота с примесью кислорода
Заключение 102
Список литературы
