Введение
1. Современное состояние проблемы использования синтезированных голограмм-проекторов в фотолитографии 9
2. Определение и обоснование требований, предъявляемых к структуре и методам расчета и отображения синтезированных голограмм-проекторов, предназначаемых для использования в голографическом фотолитографическом процессе 19
2.1 Сравнительный анализ разрешающей способности генератора изображений, необходимой для изготовления фотошаблона и формирующей его изображение голограммы - проектора 19
2.2 Оптимизация параметров дискретизации фотошаблона и голограммы, обеспечивающих минимизацию потерь качества восстанавливаемых изображений 21
2.3 Безаберрационное восстановление синтезированных голограмм-проекторов Френеля при углах падения восстанавливающей волны, значительно превышающих угол падения опорной волны при синтезе голограммы 28
2.4 Выводы 30
3 Квантование и дифракционная эффективность сентезированных голограмм-проекторов 32
3.1 Сравнение энергетических характеристик традиционного и голографического методов фотолитографии 33
3.2 Анализ влияния параметров дискретизации на дифракционную эффективность синтезированных голограмм (влияние скважности и периода дискретизации) 35
3.3 Влияние бинаризации на энергетические характеристики синтезированных голограмм 48
3.4 Выводы 51
4 Программный комплекс синтеза и цифрового восстановления голограмм-проекторов 53
4.1 Алгоритм синтеза голограмм-проекторов 53
4.2 Алгоритм восстановления голограмм-проекторов
4.3 Внешний вид программного комплекса синтеза и цифрового восстановления голограмм-проекторов 55
4.4 Проверка работоспособности программного комплекса синтеза и цифрового восстановления голограмм-проекторов 56
4.5 Демонстрация возможности и перспективности использования комплекса для оптимизации параметров синтеза и восстановления голограмм-проекторов 63
4.6 Исследование влияния бинаризации на качество восстановленного изображения. Оптимизация уровня бинаризации 66
4.7 Экспериментальное подтверждение возможности безаберрационного восстановления синтезированной голограммы-проектора Френеля при углах падения восстанавливающей плоской волны, превышающих угол падения плоской опорной волны при синтезе голограммы 68
4.8 Выводы 70
5. Практическая реализация метода голографической проекционной фотолитографии, основанного на использовании синтезированной голограммы-проектора Френеля 71
Заключение 73
Список литературы 75
