Введение
ГЛАВА 1. Методы осаждения и методы исследования тонких пленок аморфного гидрогенизированного кремния .
1.1. Методы осаждения тонких пленок аморфного кремния Плазмохимические способы осаждения 13
1.1.1. Осаждение и легирование методом тлеющего разряда 14
1.1.2. Струйный плазмохимический метод 24
1.1.3.Высокочастотное распыление
1.1.4. Осаждение с помощью электронного пучка 31
1.1.5. Метод термоактивированного химического осаждения из газовой фазы. 32
Выводы 34
1. 2. Сопло Лаваля 36
1.3. Методы исследования тонких пленок аморфного кремния.
1.3.1. Оптические методы исследования пленок. 45
1.3.2. Исследование свойств пленок методом ИК-спектроскопии. 45
1. 3.3. Исследование свойств пленок методом Рамановской спектроскопии. 49
1. 3.4. Оптико-эмиссионная спектроскопия аргон-силановой плазмы. 52
1.3.5. Исследование края фундаментального поглощения 53
ГЛАВА 2. Модели роста тонких пленок. механизмы роста тонких пленок аморфного кремния
2.1. Модели роста тонких пленок 58
2.1.1. Капиллярная модель роста пленок 59
2.2. Статистическая модель роста пленок 61
2.3. Сравнение капиллярной модели со статистической моделью 65
2.2. Механизмы роста пленок аморфного кремния 67
Выводы 72
ГЛАВА 3 Экспериментальная часть.
3.1. Способ получения пленок аморфного кремния.
3.1.1. Схема экспериментальной установки. 73
3.1.2. Плазмотрон. Расчет сопла Лаваля 76
3.1.3. Методика осаждения пленок аморфного кремния. 83
Выводы 87
4. Результаты экспериментальных исследований
4.1. Исследование зависимости свойств пленок от параметров процесса осаждения. 88
4.1.1. Рамановская и ИК-Фурье- спектрометрия 89
4.1.2. Оптико-эмиссионная спектроскопия аргон-силановой плазмы. 101
4.1.3. Оже - спектрометрия пленок. 114
4.1.4. Исследование края фундаментального поглощения . 120
4.1.5. Микроструктурный анализ 127
4.2. Феноменологическая модель роста пленок аморфного кремния 130
Выводы. 132
Заключение 133
Список литературы
