Совершенствование создания тонкоплёночных микроэлектронных преобразователей и методов их технологического контроля
Власов, Геннадий Сергеевич. Совершенствование создания тонкоплёночных микроэлектронных преобразователей и методов их технологического контроля : автореферат дис. ... доктора технических наук : 05.11.01 / Пенз. гос. ун-т.- Пенза, 2004.- 45 с.: ил. РГБ ОД, 9 04-15/443-5