Введение
Глава 1. Современное состояние электронной спектроскопии 8
1.1 Рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия (РФЭС) 10
1.2 Оже-спектроскопия Auge Electron Spectroscopy (AES) 17
1.3 Спектроскопия пиков упруго отраженных электронов (СПУЭ) - Elastic Peak Electron Spectroscopy (EPES) 18
1.4 Спектроскопия характеристических потерь энергии EELS, REELS и TEELS 20
1.5 Спектроскопия отраженных электронов (СОЭ) 26
1.6 Основные результаты и выводы второй главы 29
Глава 2. Описание сигналов электронной спектроскопии на основе методов инвариантного погружения (МИП) 31
2.1 Уравнение переноса электронов, легких ионов и фотонов в твердом теле 31
2.2 Метод инвариантного погружения 34
2.3 Метод инвариантного погружения в задачах многократного рассеяния с внутренними источниками электронов 40
2.4 Разложение по кратностям неупругого рассеяния и азимутальным гармоникам 44
2.5 Основные результаты и выводы второй главы 46
Глава 3. Методы решения уравнения переноса в инвариантном погружении 47
3.1 Решение уравнения переноса в приближении однократном и приближении «прямо вперед» 47
3.2 Решение уравнения переноса методом инвариантного погружения в малоугловом приближении 48
3.3 Численное решение уравнения переноса 57
3.4 Моделирование рассеяния электронов в твердом теле методом Монте-Карло 70
3.5 Апробация расчетных моделей 75
3.6 Основные результаты и выводы третей главы 87
Глава 4. Использование представленных методов для обработки результатов ЭС 89
4.1 СОЭ спектроскопия 89
4.2 Восстановление сечений неупругого рассеяния алюминия и ниобия 96
4.3 Рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия с энергетическим разрешением 106
4.4 Рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия с угловым разрешением 111
4.5 Основные результаты и выводы четвертой главы 120
Заключение 122
Заключение 124
Список литературы
