Введение
Глава 1. Структура, модели и технология изготовления пористых материалов 19
1.1 Структура пористых материалов 19
1.2 Строение пористых тел 22
1.3 Модели пористых материалов 24
1.4 Технология изготовления пористых структур 30
1.4.1 Электрохимические методы 30
1.4.2 Темплатный синтез 37
1.4.3 Золь–гель 38
1.4.4 Осаждение из газовой фазы 39
1.5 Формулировка цели диссертационной работы 39
Глава 2. Технология изготовления исследуемых образцов. Структура. Состав 41
2.1 Технология изготовления 41
2.2 Структура 46
2.3 Состав 58
2.4 Выводы по главе 63
Глава 3. Электрические свойства пористых оксидных пленок, модифицированных углеродом 66
3.1 Электрические свойства пористых пленок диоксида кремния, модифицированных углеродом 67
3.1.1 Емкость и тангенс угла диэлектрических потерь 67
3.1.2 Электропроводность 84
3.1.3 Электрическая прочность и пробой 100
3.1.4 Статистический анализ результатов 108
3.2 Электрические свойства пористых оксидных пленок Ta2O5, Nb2O5, TiO2, модифицированных углеродом 114
3.2.1 Емкость и тангенс угла диэлектрических потерь 115
3.2.2 Электропроводность 121
3.2.3 Электрическая прочность и пробой 123
3.2.4 Статистический анализ результатов 125
3.3 Выводы по главе 125
Глава 4. Электрическая формовка тонкопленочных пористых оксидных пленок, модифицированных углеродом 129
4.1 Процесс электрической формовки 130
4.2 Электрическая формовка пористых пленок диоксида кремния, модифицированных углеродом 132
4.2.1 Параметры формовки 132
4.2.2 Электролюминесценция 139
4.2.3 Кинетика формовки 145
4.2.4 Электронная эмиссия 149
4.2.5 Деградация 168
4.3 Электрическая формовка пористых оксидных пленок Ta2O5, Nb2O5, TiO2, модифицированных углеродом 172
4.3.1 Параметры формовки 172
4.3.2 Электролюминесценция 175
4.3.3 Электронная эмиссия 176
4.4 Выводы по главе 178
Глава 5. Физические свойства пористых оксидных пленок, модифицированных углеродом 183
5.1 Физические свойства пористых пленок диоксида кремния, модифицированных углеродом 184
5.1.1 Оптическая щель Тауца 184
5.1.2 Показатель преломления 188
5.1.3 Порометрия 193
5.2 Механические свойства пористых пленок диоксида кремния, модифицированных углеродом 204
5.2.1 Микротвердость 205
5.2.2 Адгезия 207
5.2.3 Износостойкость 213
5.2.4 Напряжения 217
5.3 Физические свойства пористых оксидных пленок Ta2O5, Nb2O5, TiO2, модифицированных углеродом 220
5.3.1 Оптическая щель Тауца 220
5.3.2 Показатель преломления 222
5.3.3 Порометрия 223
5.4 Механические свойства пористых оксидных пленок Ta2O5, Nb2O5, TiO2, модифицированных углеродом 225
5.4.1 Микротвердость 226
5.4.2 Адгезия 227
5.4.3 Износостойкость 229
5.4.4 Напряжения 233
5.5 Выводы по главе 235
Глава 6. Применение пористых оксидных пленок, модифицированных углеродом 240
6.1 МДМ-катод 240
6.2 Датчик влажности и углеводородов 243
6.3 Просветляющие покрытия 246
6.4 Изолирующие слои с низкой диэлектрической проницаемостью 247
6.5 Рентгеновские волноводы 249
6.6. Трековые мембраны 251
6.7. Мемристор 252
6.8. Выводы по главе 254
Основные выводы по диссертационной работе 255
Список литературы 258
Приложения А–К 295
