Введение
Глава 1. Методики анализа спектров многозарядных ионов. 20
1.1. Источники возбуждения спектров. 20
1.2. Спектральная аппаратура высокого разрешения . 26
1.3. Обработка спектрограмм. 30
1.4. Теоретические расчеты спектров многозарядных ионов. 37
1.5. Классификация спектральных линий и критерии корректности анализа спектров. 42
Глава 2. Спектры многозарядных палладие-подобных ионов . 47
2.1. Структура уровней Pd-подобных ионов. 47
2.2. Исследование резонансных переходов в спектрах Pd-подобных ионов. 50
2,3. Анализ переходов между возбужденными конфигурациями в спектрах Pd-подобных ионов . 57
2.3.1. Исследование высоковозбужденных конфигураций в спектрах Sb VI -IVIII. 59
2.3.2. Анализ спектров Хе IX и Cs X. 65
2.3.3. Анализ спектров ВаXI, La XII и Се XIII, 68
2.3.4. Анализ спектров Рг XIV и Nd XV. 71
2.4. Обобщение спектроскопических данных для изоэлектроннои последовательности Pd I. 74
Глава 3. Спектры ионов изоэлектронных последовательностей Ag I и Cd I. 85
3.1. Проблемы селекции линий в спектрах многозарядных ионов. 85
3.2. Анализ спектров Ag-подобных ионов от Sb У до Nd XIV. 88
3.3. Анализ спектров многозарядных Cd-подобных ионов . 95
3.3.1. Спектр Хе VII. 96
3.3.2. Спектр Ва IX. 99
3.3.3. Спектр LaX. 102
3.3.4. Спектр Се XI. 104
3.3.5. Спектры Рг XII и NdXIII. 106
Глава 4. Спектры 4d ионов ксенона в дальней ВУФ области , 114
4.1. Изученность спектров ионов с заполняющейся 4d оболочкой. 114
4.2. Специфические особенности конфигураций 4dm l4f и 4p54dm+1. 117
4.3. Спектры ионов ксенона в дальней ВУФ области . 126
4.4. Анализ Хе X и изоэлектронных спектров IIX - Ва XII. 130
4.5, Анализ спектра Хе XI и изоэлектронного спектра IX, 136
Глава 5. Спектры 4d ионов олова и индия в дальней ВУФ области . 143
5.1. Общая характеристика спектров ионов олова и индия в области 100-200 А. 143
5,2. Анализ конфигураций 4d64f и 4p54da в спектрах In VII и Sn VIII. 150
5.3. Анализ спектров In XII-XIII и Sn XIII-XIV. 153
5.4. Классификация переходов в сложных спектрах In VIII-XI и Sn ГХ-ХП. 163
5.5. Диагностика плазмы искрового источника для ВУФ литографии. 169
5.5.1. Измерение электронной температуры плазмы. 171
5.5.2. Определение электронной плотности плазмы, 175
5.5.3. Оценки оптической толщины излучающей плазмы. 182
Заключение. 187
Список литературы.
