Введение
ГЛАВА 1. Актуальность совместного моделирования преобразователей физических величин и электрических схем приема и обработки сигналов 9
1.1 Возможности систем схемотехнического моделирования 9
1.2 Возможности систем моделирования МЭМС 12
1.2.1 CoventorWare - проектирование МЭМС устройств на системном уровне 13
1.2.2 Nodal Design of Actuators and Sensors - библиотека для узлового метода моделирования МЭМС 15
1.2.3 SUGAR - инструмент моделирования МЭМС устройств 15
1.3 Примеры совместного моделирования электрических схем и МЭМС 16
1.3.1 Моделирование беспроводного МЭМС микрофона 16
1.3.2 Моделирование микромеханического конденсатора 19
1.3.3 Моделирование микромеханического конденсаторного микрофона 21
1.3.4 Моделирование системы на основе акселерометра с обратной связью...25
Выводы по главе 1 29
ГЛАВА 2. Разработка и моделирование SPICE-модели дифференциальной ЕМС ..30
2.1 Определение основных математических уравнений, описывающих поведение узлов дифференциальной ЕМС 30
2.2 Определение схемы замещения дифференциальной ЕМС 33
2.3 Расчет параметров резонансной ЕМС 37
2.4 Моделирование резонансной ЕМС в составе электрической схемы 43
Выводы по главе 2 54
ГЛАВА 3. Разработка и моделирование SPICE-модели электростатического конденсаторного микрофона 55
3.1 Определение основных математических уравнений, описывающих поведение узлов электростатического конденсаторного микрофона 55
3.2 Моделирование SPICE-модели конденсаторного микрофона в составе электрической схемы 61
Выводы по главе 3 65
ГЛАВА 4. Применение SPICE-модели для практического проектирования специализированных ИС 66
4.1 Классификация СФ блоков 66
4.2 Практическое применение SPICE-модели ЕМС при разработке ИС 68
4.3 Моделирование входной физической величины 69
4.4 Характеристики, полученные в результате моделирования SPICE-модели электретного микрофона в составе ИСМУ 82
Исходные установочные параметры, используемые при испытании ИСФИ: 85
Выводы по главе 4 87
Заключение 88
Список использованных источников 90
Приложение 1 93
