Введение
Глава 1. Аналитический обзор 9
1.1 Водородопроницаемые металлические мембраны 9
1.1.1 Перенос водорода через металлические мембраны. 9
1.1.2 Механизм хемосорбции водорода с металлами 12
1.1.3 Диффузия водорода в металлах 17
1.1.4 Взаимодействие палладия с водородом 20
1.1.5 Свойства легированных палладиевых мембран 25
1.1.6 Водородопроницаемые Pd-Ag мембраны 29
1.2 Кинетика процесса водородопроницаемости 31
1.2.1 Механизм процесса водородопроницаемости 31
1.2.2 Кинетика поверхностных процессов 34
1.3 Методы получения тонких пленок из металлических сплавов 37
1.3.1 Метод электротермического напыления 38
1.3.2 Метод магнетронного напыления 39
1.3.3 Применение МРС для получения тонких палладий содержащих пленок 41
1.4 Методы модифицирования поверхности водородопроницаемых мембран 42
1.5 Применение модифицированных мембран для разделения изотопов водорода 43
Выводы по главе 1 45
Глава 2. Методики получения и исследования водородопроницаемых мембран 47
2.1. Методики получения палладий содержащих мембран 47
2.1.1 Метод электротермического напыления 50
2.1.2 Метод магнетронного напыления 51
2.2 Модифицирование поверхности пленок 55
2.2.1 Осаждение мелкодисперсного палладия химическим восстановлением из водного раствора соли. 55
2.2.2 Электролитическое осаждение мелкодисперсного палладия из водного раствора Н2PdCl4 56
2.2.3 Метод магнетронного напыления пленок сплавов с последующим диффузионным отжигом и травлением 56
2.3 Исследование поверхности, состава и свойств образцов 59
2.4 Исследование водородопроницаемости мембран 61
2.5 Рентгенодифракционный анализ 66
Выводы по главе 2 68
Глава 3. Результаты и их обсуждение 69
3.1 Получение палладий-серебряных пленок 69
3.1.1 Метод электротермического напыления [73, 74] 69
3.1.2 Магнетронное напыление 74
3.2 Модифицирование поверхности пленок [151, 152] 79
3.2.1 Осаждение мелкодисперсного палладия химическим восстановлением из водного раствора соли 79
3.2.2 Осаждение мелкодисперсного палладия электролитическим восстановлением из водного раствора соли 82
3.2.3 Модифицирование палладия методом магнетронного напыления с последующим диффузионным отжигом и травлением 84
3.2.4 Сравнение методов модифицирования 86
3.3 Результаты рентгенофазового исследования 88
3.4 Водородопроницаемость палладий-серебряных пленок 91
3.5 Зависимость водородопроницаемости от температуры 96
3.6 Сравнение с имеющимися аналогами и возможность практического применения 98
Выводы по главе 3 100
Основные результаты и выводы 101
Список литературы
