Введение
1 Получение, структура и свойства пленок систем Cu-Se И Cu-In-Se (литературный обзор) 8
1.1 Система Cu-Se 8
1.1.1 Диаграмма состояния системы 8
1.1.2 Кристаллическая структура и фазовые превращения в пленках Cu2Se 11
1.1.3 Свойства Cu2Se 12
1.1.4 Применение пленок Cu2Se 14
1.2 Система Си - In - Se 16
1.2.1 Диаграмма состояния 16
1.2.2 Способы синтеза и структура пленок CuInSe2. 20
1.2.2.1 Синтез поликристаллических пленок 20
1.2.2.2 Послойная конденсация бинарных селенидов 27
1.2.2.3 Синтез эпитаксиальных пленок 28
1.2.3 Электрические и оптические свойства объемных кристаллов и тонких пленок CIS 30
1.2.4 Фотопреобразователи на основе пленок CuInSe2. 39
1.3 Заключение 43
2 Материалы, синтез и методы исследования пленок Cu2Se И CuInSe2 45
2.1 Исходные материалы для синтеза пленок Cu2Se и CuInSe2 45
2.2 Способы синтеза пленок Cu2Se и CuInSe2 46
2.2.1 Термическое испарение материалов из независимых источников и одновременная конденсация в вакууме 46
2.2.2 Магнетронное распыление составных мишеней Cu-Se и In-Se 50
2.3 Методы анализа фазового и элементного состава и субструктуры пленок 51
3 Синтез, ориентация и структура пленок Cu2Se 54
3.1 Синтез Cu2Se термическим испарением и конденсацией в вакууме 54
3.1.1 Ориентация, структура и морфология поверхности пленок (001), (111) и (ПО) Cu2Se толщиной до 0,1 мкм 54
3.1.2 Исследование пленок Cu2Se ориентации (001) и (111) толщиной 2-5 мкм 63
3.2 Синтез пленок Cu2Se методом магнетронного распыления составной мишени Cu-Se 67
3.3 Обсуждение результатов 72
4 Синтез и структура эпитаксиальных пленок CuInSe2 78
4.1 Исследование методами ПЭМ и АСМ пленок CuInSe2, синтезиро ванных в процессе термического испарения 78
4.1.1 Ориентация и структура пленок CuInSe2 толщиной до 0,1 мкм взависимости от типа подложки 78
4.1.2 Исследование морфологии поверхности эпитаксиальных пленок CuInSe2 (t=0,1 мкм) 89
4.1.3 Пленки CuInSe2 на гетероструктуре (001) фторфлогопит-трехориентационная пленка молибдена 91
4.1.4 Исследование пленок CuInSe2 толщиной 0,5 мкм 95
4.2 Синтез пленок CuInSe2 в процессе последовательного магнетронного распыления мишеней Cu-Se и In-Se 97
4.3 Обсуждение результатов 98
Основные результаты и выводы 106
Список литературы 107
