Структурная модификация плёнок кремния в процессе роста и легирования
Павлов Дмитрий Алексеевич. Структурная модификация плёнок кремния в процессе роста и легирования : диссертация ... доктора физико-математических наук : 01.04.07.- Нижний Новгород, 2001.- 344 с.: ил. РГБ ОД, 71 02-1/227-X