Введение
Глава 1. Структурная однородность МКП 8
1.1 Конструкция и принцип действия МКП 8
1.2 Базовый технологический метод изготовления МКП 10
1.3 Анализ требований к качеству МКП 13
1.4 Структура и структурная однородность МКП 23
Глава 2. Факторы структурной однородности МКП 27
2.1 Классификация дефектов структуры 27
2.2 Определение факторов структурной однородности 33
Глава 3. Исследование факторов структурной однородности МКП 38
3.1 Параметры и характеристики рабочих стекол 38
3.2 Фактор технологии изготовления МЖС 53
3.3 Модель усиления деформированного канала 58
3.4 Фактор технологии сборки 71
3.5 Факторы технологии спекания 82
Глава 4. Оптимизация факторов и пути повышения структурной однородности МКП 95
4.1 Оптимизация технологии вытяжки МЖС 95
4.2 Пути совершенствования структурной однородности МКП 103
Заключение 112
Литература
