Введение
1 Обзор литературы 11
1.1 Диффузия, твердофазные реакции и атомное упорядочение 12
1.1.1 Твердофазные реакции и диффузия в твердых телах 12
1.1.2 Атомное упорядочение 15
1.2 Диффузия и твердофазные реакции в пленочных системах Cu/Au и Pd/Fe .. 17
1.2.1 Диффузия и твердофазные реакции в системе Cu/Au 17
1.2.2 Твердофазные реакции и последовательность фазообразования в системе Pd/Fe 23
1.3 Атомное упорядочение в пленочных системах Cu-Au и Pd-Fe 26
1.3.1 Атомное упорядочение в системе Cu-Au 27
1.3.1.1 Длиннопериодические атомно-упорядоченные структуры в системе Cu-Au 30
1.3.1.2 Структурные фазовые переходы в системе Cu-Au 33
1.3. 2Атомное упорядочение в системе Pd-Fe 40
1.3.2.1 Атомное упорядочение в наночастицах FePd 41
1.3.2.2 Атомное упорядочение в тонких пленках FePd 43
1.4 Постановка цели и задач исследования 47
2 Методы получения и исследования образцов 49
2.1 Условия получения двухслойных тонкопленочных систем Cu/Au 49
2.2 Условия получения двухслойных тонкопленочных систем Pd/a-Fe(001) 50
2.3 Структурные методы исследования 50
3 Структурные фазовые превращения и атомное упорядочение при твердофазной реакции в двухслойной тонкопленочной системе Cu/Au (Си:Аи 3:1) 53
3.1 Исследование образцов в исходном состоянии
3.2 In situ исследования изменений фазового состава тонких пленок Cu/Au в процессе твердофазной реакции 55
3.3 Формирование атомно-упорядоченной структуры СизАиІ 59
3.4 Исследование структурного фазового перехода СизАиІ- СизАи 60
3.5 Обсуждение полученных результатов 61
3.5.1 Начало твердофазной реакции 61
3.5.2 Оценка параметров взаимодиффузии меди и золота в двухслойной тонкопленочной системе Cu/Au с атомным соотношением Cu:Au«3:l 64
3.5.3 Формирование атомно-упорядоченной структуры СизАиІ в процессе твердофазной реакции и структурный фазовый переход СизАиІ- СизАи 65
3.6 Выводы 66
4 Структурные фазовые превращения и атомное упорядочение при твердофазной реакции в двухслойной тонкопленочной системе Си/Аи (Си:Аи 1:1) 67
4.1 Исследование образцов в исходном состоянии 67
4.2 In situ исследования изменений фазового состава тонких пленок Cu/Au в процессе твердофазной реакции 69
4.3 Исследование начальной стадии твердофазной реакции в системе Cu/Au... 72
4.4 Формирование атомно-упорядоченной структуры CuAul 77
4.5 Исследование структурного фазового перехода CuAuI- CuAu 78
4.6 Исследование структурного фазового перехода CuAu- CuAuI+CuAuII 81
4.7 Обсуждение полученных результатов 85
4.7.1 Начало твердофазной реакции 85
4.7.2 Оценка параметров взаимодиффузии меди и золота 85
4.7.3 Структурные изменения на начальных этапах твердофазной реакции.. 87
4.7.4 Последовательность образования фаз при твердофазной реакции в двухслойных тонких поликристаллических пленках Cu/Au 90
4.7.5 Формирование атомно-упорядоченной структуры CuAul в процессе твердофазной реакции 92 4.7.6 Структурный фазовый переход CuAuI- CuAu 93
4.7.7 Структурный фазовый переход CuAu- CuAuI+CuAuII 94
4.8 Выводы 95
5 Структурные фазовые превращения и атомное упорядочение при твердофазной реакции в двухслойной тонкопленочной системе Pd/a-Fe(001) 98
5.1 Исследование образцов в исходном состоянии 98
5.2 In situ исследования изменений фазового состава пленок Pd/a-Fe(001) в процессе твердофазной реакции 101
5.3 Формирование атомно-упорядоченной структуры Llo-FePd 105
5.4 Исследования структурного фазового перехода Ll0-FePd- FePd 105
5.5 Обсуждение полученных результатов 106
5.5.1 Исходное состояние образцов 106
5.5.2 Формирование атомно-упорядоченной структуры Llo-FePd в процессе твердофазной реакции 108
5.5.3 Структурный фазовый переход Ll0-FePd- FePd 109
5.6 Выводы
Заключение 112
Список используемых источников
