Структурные и физические свойства пленок SiCx и SnOx, синтезированных различными методами
Бейсенханов, Нуржан Бейсенханович. Структурные и физические свойства пленок SiCx и SnOx, синтезированных различными методами : диссертация ... доктора физико-математических наук : 05.27.01 / Бейсенханов Нуржан Бейсенханович; [Место защиты: Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН].- Черноголовка, 2011.- 215 с.: ил.