Введение
Глава 1. Литературный обзор 9
1.1 Газопроницаемость мембран на основе Pd, структура, механические свойства и методы получения 9
1.1.1 Механические свойства мембранных сплавов 14
1.1.2 Проникновение водорода через металлические мембраны 20
1.1.3. Структура и механические свойства упорядоченного сплава медь—палладий 23
1.2 Структура и прочность вакуумных конденсатов 32
1.2.1. Влияние условий конденсации на структуру вакуумных конденсатов 32
1.2.2. Эффект толщины при формировании зерен в гетерофазных конденсатах 41
Глава 2. Материалы, способы получения вакуумных конденсатов Pd, Pd-Cu и пленочных гетероструктур Mo-Cu, методы их исследования 47
2.1 Материалы и оборудование 47
2.2 Нанесение плёнок 49
2.2.1 Нанесение плёнок Pd методом электронно-лучевого испарения 49
2.2.2 Нанесение плёнок Pd, Си и твёрдого раствора Pd-Cu методом магнетронного распыления 50
2.3 Получение многослойных плёнок Mo-Cu 51
2.4 Препарирование образцов 52 2.4.1ДляПЭМИЭГ 52
2.4.2 Для механических испытаний и измерения газопроницаемости 52
2.4.2.1 Приготовление образцов Mo-Cu для испытаний на микротвёрдость 52
2.4.2.2 Приготовление образцов Pd, Pd-Cu и Mo-Cu для испытаний на растяжение 53
2.4.2.3 Приготовление образцов Pd и Pd-Cu для измерения газопроницаемости 53
2.5 Методика исследования фазового состава, ориентации и субструктуры плёнок 54
2.6 Методика исследования механических свойств и газопроницаемости 55 2.6.1 Методика испытаний на растяжение 55 2.6.2Методика исследования микротвёрдости покрытий системы Мо-Си 55 2.6.3 Исследование газопроницаемости 57
Глава 3. Структура, рельеф поверхности, газопроницаемость и механические свойства вакуумных конденсатов Pd и Pd-Cu 61
3.1. Структура, ориентация и рельеф поверхности вакуумных конденсатов Pd 62
3.2. Фазовый состав, субструктура и ориентация вакуумных конденсатов Pd-Cu 75
3.3 Прочность вакуумных конденсатов Pd 95
3.4 Газопроницаемость вакуумных конденсатов Pd 102
Глава 4. Структура и механические свойства металлической гетероструктуры Мо-Си 112
4.1 Структура, ориентация и морфология поверхности металлической гетероструктуры Мо-Си 112
4.2 Исследование микротвёрдости покрытий 128
4.3 Измерение прочности 131
Основные результаты и выводы 13 8
Список литературы
