Введение
1. Оксиды редкоземельных элементов и мдп-структуры на их основе 11
1.1 .Редкоземельные элементы и их свойства 11
1.2.Структура и свойства оксидов редкоземельных элементов 18
1.3. МДП-структуры с диэлектрическими пленками оксидов редкоземельных элементов
1 4 Методика получения диэлектрических пленок оксидов редкоземельных элементов и МДП-структур
2. Распределение компонентов в структурах пленка оксида редкоземельного элемента - кремний и элементный состав пленок оксидов редкоземельных элементов 33
2.1.Определение структуры и состава вещества методами ядерного микроанализа 33
2.2. Анализ распределения компонентов в структурах пленка оксида редкоземельного элемента - кремний и элементного состава пленок оксидов редкоземельных элементов 37
3. Эллипсометрия тонких пленок оксидов редкоземельных элементов 50
3.1 .Методика эллипсометрических измерений 50
3.2.Описание экспериментальной установки 55
3.3. Моделирование структур пленка оксида редкоземельного элемента -кремниевая подложка и результаты эллипсометрических измерений 58
4. Электрофизические свойства кремниевых мдп-структур с диэлектрическими пленками оксидов редкоземельных элементов 71
4.1.Электропроводность кремниевых МДП-структур с диэлектрическими пленками оксидов редкоземельных элементов 71
4.2. Проводимость и диэлектрические потери в кремниевых МДП- структурах с диэлектрическими пленками оксидов редкоземельных элементов на переменном сигнале 82
4.3.Вольт-фарадные характеристики кремниевых МДП-структур с диэлектрическими пленками оксидов редкоземельных элементов 86
4.4.Генерационные процессы в кремниевых МДП-структурах с диэлектрическими пленками оксида скандия 93
5. Фотоэлектрические свойства кремниевых МДП-структур с диэлектрическими пленками оксида скандия 101
5.1.Определение высот энергетических барьеров на межфазных границах МДП-структур методом внутренней фотоэмиссии 101
5.2.0пределение высот энергетических барьеров на межфазных границах МДП-структур с диэлектрическими пленками оксида скандия по спектральным и вольтаическим зависимостям фототока 107
6. Просветляющие и пассивирующие свойства пленок оксида скандия 115
6.1 .Просветляющие покрытия 115
6.2.Оптические и просветляющие свойства пленок оксида скандия 117
б.З.Рекомбинационные свойства кремния, пассивированного пленками оксида скандия 124
Заключение 131
Список использованных источников
