Введение
Глава 1. Лазерные методы оценки стойкости ИПЭ к воздействию ТЗЧ 12
1.1.Основные одиночные радиационные эффекты, возникающие при воздействии ТЗЧ на элементы ИПЭ 12
1.2.Моделирование эффектов, возникающих при воздействии ТЗЧ на ИПЭ, с помощью сфокусированного лазерного излучения 19
1.2.1. Фундаментальные параметры лазерного излучения 21
1.2.2. Особенности генерации носителей заряда при воздействии сфокусированного лазерного излучения на полупроводники 25
1.2.3. Преимущества и ограничения лазерного тестирования на стойкость к воздействию ТЗЧ по сравнению с методами, использующими ускорители ионов 31
1.3.Методика оценки параметров чувствительности ИПЭ к эффектам воздействия ТЗЧ с помощью сфокусированного лазерного излучения 35
1.4.Обзор существующих технических средств проведения лазерных испытаний на стойкость к воздействию ТЗЧ 38
Глава 2. Общие требования к характеристикам средств проведения лазерных испытаний ИПЭ на стойкость к воздействию ТЗЧ 42
2.1.Требования к лазерному излучению 42
2.1.1. Размер пятна фокусировки 42
2.1.2. Длина волны 55
2.1.3. Расходимость пучка 59
2.1.4. Длительность лазерного импульса 61
2.2.Требования к функциональным характеристикам лазерного комплекса для испытаний ИПЭ на стойкость к воздействию ТЗЧ 62
2.2.1. Методики лазерного облучения 63
2.2.2. Измерение порога ОРЭ 67
2.2.3. Измерение сечения ОРЭ 68
2.3.Состав лазерного испытательного комплекса и требования к его модулям 70
Глава 3. Технические средства проведения лазерных испытаний ИПЭ на стойкость к воздействию ТЗЧ 76
3.1. Импульсные лазерные установки с фокусировкой излучения первого поколения для наблюдения сбоев и отказов ИС 76
3.2.Типовая структура лазерного испытательного комплекса второго поколения 86
3.3.Основные модули лазерного тестового комплекса второго поколения, их техническая реализация и параметры 87
3.3.1. Лазерный источник пикосекундных импульсов 87
3.3.2. Система фокусировки и визуализации 91
3.3.3. Система ослабления энергии лазерных импульсов 95
3.3.4. Система позиционирования и закрепления исследуемого объекта 97
3.3.5. Система управления и функционального контроля 100
Глава 4. Результаты экспериментальной апробации лазерных комплексов ПИКО–3 и ПИКО–4 101
4.1.Основные технико-эксплуатационные характеристики лазерных испытательных комплексов ПИКО-3 и ПИКО-4 101
4.2.Методика измерения основных параметров технических средств лазерных испытаний и их периодической аттестации 103
4.3.Экспериментальная проверка функциональных возможностей разработанных лазерных комплексов 104
4.3.1. Локализация чувствительных элементов 104
4.3.2. Воспроизводимость ОРЭ 111
4.4.Методика коррекции результатов лазерных испытаний по калибровочным измерениям на источниках ионов 114
4.5.Результаты сравнительных испытаний на стойкость к воздействию ТЗЧ 121
4.5.1. Примеры результатов испытаний 122
Заключение 129
Приложение 1. О влиянии длительности и диапазона изменения энергии импульса лазерного возбуждения на оценки параметров стойкости ИС 131
Приложение 2. Результаты расчета погрешности коэффициента пропускания плавного ослабителя и методика его настройки 135
Приложение 3. Методика аттестации лазерного испытательного комплекса ПИКО-3 138
Список использованных источников 150
