Технологическое обеспечение качества поверхности полупроводниковых пластин информационно-измерительных устройств
Игонина Татьяна Ивановна. Технологическое обеспечение качества поверхности полупроводниковых пластин информационно-измерительных устройств : диссертация ... кандидата технических наук : 05.11.14, 05.02.08.- Пенза, 2007.- 152 с.: ил. РГБ ОД, 61 07-5/3808