Введение
Глава 1 Влияние технологии осаждения покрытия из плазмы вакуумно-дугового разряда на качество поверхностного слоя и точность деталей машин 10
1.1 Анализ факторов влияющих на качество деталей при осаждении покрытия из плазмы вакуумно-дугового разряда 10
1.2 Влияние параметров осаждения покрытия из плазмы вакуумно-дугового разряда на точность деталей машин 12
1.3 Влияние параметров осаждения покрытия из плазмы вакуумно-дугового разряда на шероховатость поверхности и микротвёрдость покрытия 19
1.4 Анализ моделей осаждения из плазмы вакуумно-дугового разряда и программ для ЭВМ расчёта параметров покрытия 24
Выводы по главе 1 30
Глава 2 Методы и методики экспериментальных исследований 32
2.1 Анализ технических требований к высокоточным деталям с покрытиями 32
2.2 Подготовка образцов 34
2.3 Описание модернизированной установки ННВ 6.6-И1 для плазменно-ассистированного осаждения покрытий 35
2.4 Методика исследования качества поверхностного слоя 36
2.5 Методика исследования точности размеров и формы деталей машин 39
Глава 3 Математическое моделирование роста покрытия, осаждаемого из плазмы ваку умно-дугового разряда
3.1 Разработка модели роста покрытия 41
3.2 Описание детали 42
3.3 Описание движения детали 44
3.4 Описание модели затенения 48
3.5 Описание роста покрытия при осаждении из плазмы вакуумно-дугового разряда 50
Выводы по главе 3 54
Глава 4 Исследование влияния области расположения деталей на качество поверхностного слоя и точность деталей машин 55
4.1 Исследование влияния осаждения покрытия из плазмы вакуумно дугового разряда на точность деталей машин 55
4.1.1 Исследование влияния осаждения покрытия из плазмы вакуумно-дугового разряда на отклонение формы поперечного сечения цилиндрической поверхности 61
4.1.2 Исследование влияния области расположения деталей при осаждения покрытия из плазмы вакуумно-дугового разряда на точность 63
4.2 Влияние расположения тонкостенных образцов в вакуумной камере при осаждении покрытия на точность формы 66
4.3 Исследование влияния области расположения обрабатываемой поверхности на шероховатость поверхности и микротвёрдость покрытия, осаждаемого из плазмы вакуумно-дугового разряда 70
Выводы по главе 4 74
Глава 5 Разработка технологии осаждения покрытия из плазмы вакуумно-дугового разряда на высокоточные детали 75
5.1 Модернизация установки ННВ 6.6-И1 75
5.2 Разработка технологических процессов осаждения покрытия из плазмы вакуумно-дугового разряда на детали «Стакан» и «Цапфа» .77 5.3 Реализация разработанных технологических процессов осаждения покрытия на детали «Стакан» и «Цапфа» по разработанным
технологическим процессам 80
Выводы по главе 5 82
Заключение 83
Список литературы
