Введение
Глава 1. Прозрачные проводящие пленки на основе оксидов металлов и их применение в солнечной энергетике 9
1.1. Прозрачные проводящие пленки на основе оксидов металлов 11
1.2. Структурные, оптические и электрические свойства пленок оксида цинка 14
1.3. Методы получения прозрачных проводящих пленок оксида цинка 21
1.4. Применение пленок оксида цинка в оптоэлектронике 26
1.5. Оксид цинка – перспективный материал для солнечных модулей 29
1.6. Поликристаллический гетероперехода n-ZnO/p-CuO 31
Выводы по главе 1 34
Глава 2. Технология получения и методы исследования пленок оксида цинка 35
2.1. Технология получения пленок оксида цинкa 35
2.2. Методы исследования пленок оксида цинка 40
2.3. Влияние отношения потока диборана к потоку паров диэтилцинка на свойства пленок ZnO:B, полученных LPCVD-методом 52
2.4. Влияние неоднородности пленки ZnO:В по толщине на свойства солнечного элемента 58
2.5. Влияние давления газов в рабочей камере на свойства пленок ZnO:B при химическом осаждении 60
2.6. Влияние температуры подложки и времени осаждения на оптические и электрические свойства пленок ZnO:B 61
Выводы по главе 2 67
Глава 3. Влияние постростовой обработки на структуру и свойства пленок оксида цинка 69
3.1. Методы постростовой обработки пленок оксида цинка 69
3.2. Влияние температуры постростовой термообработки на свойства пленок ZnO:B 73
3.3. Влияние среды постростовой термообработки на оптические и электрические характеристики пленок ZnO 81
3.4. Влияние ионного травления на спектры пропускания и структуру пленок оксида цинка 83
Выводы по главе 3 87
Глава 4. Получение и исследование пленок оксидов меди 88
4.1. Электрофизические и оптические свойства пленок оксидов меди и методы получения 88
4.2. Исследование состава и структуры пленок оксидов меди, полученных термическим окислением меди в разных режимах 91
4.3. Исследование свойств пленок оксидов меди, полученных методом высокочастотного магнетронного распыления 96
4.4. Плёнки оксидов меди, полученные методом магнетронного распыления с разным составом газовой смеси «аргон + кислород» 98
Выводы по главе 4 100
Заключение 102
Список использованных источников информации условные обозначения физических величин и технических параметров 117
Сокращения
