Введение
Глава 1. Современные технологии нанесения покрытий на детали энергетических установок 11
1.1. Современные методы защиты поверхности деталей энергетических установок 11
1.1.1. Эксплуатационные характеристики деталей энергетических установок и применяемые для их изготовления материалы 11
1.1.2. Технологические методы защиты поверхностного слоя деталей энергетических установок 13
1.2. Особенности влияния фазового состава, структуры и " параметров покрытий на их эксплуатационные характеристики 20
1.3. Современные способы нанесения многослойных покрытий в вакууме 34
1.4. Постановка задачи исследования 45
Глава 2. Методики экспериментальных исследований 47
2.1. Объект исследований, механические свойства и химический состав исследуемых материалов и покрытий... 47
2.2. Принцип работы и краткое описание модернизированной установки ННВ 6.6-И 1 51
2.3. Методики исследования свойств вакуумных ионно-плазменных покрытий 56
2.3.1. Вторичная ионная масс-спектрометрия (ВИМС) 56
2.3.2. Методика рентгеноструктурного анализа покрытий.. 58
2.3.3. Методика исследования адгезии вакуумных ионно-плазменных покрытий 62
2.3.4. Методика измерения микротвердости 63
2.3.5. Методика коррозионных испытаний 65
3. Ионно-плазменное нанесение многослойных покрытий системы Ti-C-Si в условиях дополнительной ионной бомбардировки 68
3.1. Моделирование процесса формирования и роста многослойного покрытия системы Ti-C-Si 68
3.2. Исследование технологических характеристик графитокремниевого катода 73
3.3. Математическая модель процесса осаждения многослойных вакуумного ионно - плазменного покрытий на основе Ti-(C-Si) с двух электродуговых испарителей 81
4. Исследование свойств многослойных покрытий системы Ti- C-Si 94
4.1. Адгезия осаждаемого покрытия 94
4.2. Результаты масс-спектрального анализа образцов с многослойными покрытиями системы Ti-C-Si 96
4.3. Результаты рентге неструктурного анализа образцов с многослойными покрытиями системы Ті -С-Si 99
4.4. Влияние термической обработки на изменение относительных интенсивностей фаз синтезированного многослойного покрытия Ti-C-Si 106
4.5. Результаты исследования микротвердости образцов с многослойными покрытиями системы Ti-C-Si 109
4.6. Результаты исследования электродного потенциала образцов с многослойными покрытиями системы Ti-C-Si... 116
4.7. Исследование релаксационной стойкости и термостойкости многослойных покрытий системы Ti-C-Si 118
Глава 5. Разработка технологии ионно-пл а змеиного осаждения и термической обработки многослойных покрытий системы 123
5.1. Разработка технологии ионно-плазменного осаждения многослойных покрытий системы Ti-C-Si в условиях плазменного ассистирования и их последующей термической обработки
5.2. Разработка технологического процесса осаждения многослойного покрытия системы Ti-C-Si 131
Основные выводы и результаты работы 135
Список использованных источников 137
