Введение
Глава 1. Использование вче разряда в современных технологиях
1.1. ВЧЕ разряд 11
1.2. Применение ВЧЕ разрядов в плазменных технологиях 15
1.3. Диагностика плазмы неравновесных разрядов 19
1.4. Моделирование физико-химических процессов в метансодержащей плазме 22
Глава 2. Техника и методики эксперимента
2.1. Экспериментальное оборудование 27
2.2. Методы исследования заселенностей энергетических уровней и измерения концентрации атомарного водорода 34
2.3. Исследование колебательного и вращательного распределений молекул водорода по структуре спектра а-системы Фулхера 38
2.4. Оценка отношения концентраций атомарного и молекулярного водорода 45
2.5. Определение колебательной и вращательной температур радикала СН 47
Глава 3. Исследование теплофизических характеристж вче разряда методами оптической эмиссионной спектроскопии
3.1. Спектры излучения ВЧЕ разряда в метане и смесях метана с аргоном 51
3.2. Влияние магнитного поля на интенсивности атомарных спектральных линий и молекулярных полос 55
3.3. Пространственное распределение излучения и оценка толщины приэлектродного слоя 60
3.4. Заселенности энергетических уровней атомов водорода 63
3.5. Параметры молекулярного водорода: концентрация и распределения молекул по колебательным и вращательным энергетическим состояниям 68
3.6. Колебательная и вращательная температуры радикала СН 79
Глава 4. Исследование характеристик вче разряда в метане и аргоне в рамках одномерной диффузионно-дрейфовой модели
4.1. Одномерная диффузионно-дрейфовая модель ВЧЕ разряда 85
4.2. Характеристики ВЧЕ разряда в метане и аргоне 87
4.3. Влияние межэлектродного расстояния на характеристики ВЧЕ разряда в аргоне 98
4.4. Изучение влияния давления и магнитного поля на характеристики ВЧЕ разряда 104
Глава 5. Численное моделирование кинетики физико-химических реакций в вче разряде в метане и смесях метана с водородом
5.1. Кинетическое уравнение Больцмана и метод его решения 111
5.2. Функции распределения электронов по энергиям в метане, водороде и смесях метана с водородом 114
5.3. Транспортные коэффициенты электронов и константы скоростей реакций с участием электронов 117
5.4. Кинетика химических реакций в ВЧЕ разряде в метане и смесях метана с водородом 121
Заключение 135
Литература 139
Приложения 150
