Введение
Глава 1. Низкотемпературная плазма 6
1.1 Характеристики плазмы 6
1.2 Генераторы низкотемпературной плазмы 15
1.3 История экспериментального и расчетно-теоретического исследования термодинамических свойств низкотемпературной плазмы (НТП) 20
1.4 Проблемы теоретического описания термодинамики НТП 23
1.5. Основные термодинамические функции газообразного и конденсированного состояния и их аналитическая аппроксимация на эмпирической основе 28
Глава 2. Определение термодинамических и кинетических характеристик теллуритных стекол 36
2.1. Синхронный термический анализ стекол и определение температур расстекловывания, кристаллизации и плавления 37
2.2. Термодинамические функции стеклообразных состояний и их расчет по термохимическим данным -. 44
2.3. Теплопроводность стекла 53
Глава 3. Расчет и согласование термодинамических функций газообразных и конденсированных компонентов 61
3.1 .Квантовохимический расчет термодинамических функций газообразных компонентов плазмы 61
3.2. Приближение жесткий ротатор - гармонический осциллятор (ЖРГО)...
3.3. Многотемпературные функции 65
3.4. Согласованное определение термодинамических функций пара и конденсата с использованием ДНП 69
Глава 4. Анализ стационарно-неравновесных состояний получения теллуритных стекол 80
4.1. Неравновесная химическая модель плазмы 81
4.2. Анализ стационарно-неравновесных состояний двухфазной системы 83
Глава 5. Макрокинетическая модель PECVD процесса формирования теллуритных стекол 88
5.1. Дифференциальная модель проточного реактора 88
5.2 Гидродинамическая модель пограничного слоя 92
5.2.1. Тепломассообмен подвижной фазы со стенками внутри закрытых каналов.. 94
5.2.2. Теплообмен при внешнем обтекании тел 96
5.2.3. Коэффициенты переноса 96
5.3. Тепловая подзадача 100
5.3.1. Равновесный теплообмен излучением 100
5.3.2. Стационарный вариант энтальпийного баланса для плазменного «шнура».. 105
5.4. Алгоритмическая и программная реализация модели 109
5.5 Обсуждение результатов макрокинетического моделирования 111
Выводы 125
Литература 127
