Введение
1 Задачи массопереноса с подвижными границами 11
1.1 Процессы окисления металлов 12
1.2 Математическое подходы к описанию задач окалинообра-зования 16
1.3 Решение задач теплопроводности с подвижными границами 17
2 Моделирование поверхностной реакционной диффузии 20
2.1 Явление поверхностной реакционной диффузии 20
2.2 Развитие представлений о диффузии по границам зерен 26
2.3 Развитие математического описания поверхностной реакционной диффузии 32
2.4 Модель подвижной границы
2.4.1 Постановка задачи 39
2.4.2 Решение задачи 41
2.4.3 Анализ результатов 46
2.5 Модифицированная модель подвижной границы 50
2.5.1 Введение испарения 50
2.5.2 Решение с помощью преобразования Лапласа 52
2.5.3 Анализ результатов 54
2.6 Краткое содержание главы 56
3 Моделирование процесса поглощения остаточных газов твердым раствором лития в малых вакуумных камерах 58
3.1 Микроэлектромеханические системы 59
3.2 Свойства газопоглощающих материалов на основе лития 61
3.3 Моделирование получения вакуума с помощью твердых растворов лития в малых камерах
3.3.1 Поглощающий материал в форме пластины 65
3.3.2 Поглощающий материал в форме проволоки 81
3.4 Краткое содержание главы 85
4 Напыление тонких литиевых пленок с использованием твердых растворов лития 87
4.1 Способы напыления тонких пленок 87
4.2 Экспериментальное исследование по испарению лития и напылению тонких пленок 89
4.3 Модель испарения лития в вакуумной камере
4.3.1 Решение задачи методом разделения переменных 94
4.3.2 Сравнение с экспериментальными исследованиями 97
4.3.3 Получение простой расчетной формулы 99
4.4 Краткое содержание главы 104
Заключение 106
Литература
