Введение
ГЛАВА 1. Тонкопленочные газовые сенсоры
1.1 Конструкции газовых сенсоров 10
1.2 Характеристика диоксида олова как сенсорного материала 15
1.3 Методы изготовления пленок диоксида олова 22
1.4 Вакуумное нанесение тонких пленок 26
Выводы к главе 1 32
ГЛАВА 2. Методика изготовления и исследования полупроводниковых и металлических тонких пленок
2.1 Конструкция кристалла газового сенсора 35
2.2 Изготовление металлических и полупроводниковых пленок 36
2.3 Исследование газочувствительных свойств пленок диоксида олова и газовых сенсоров на их основе 51
ГЛАВА 3. Конструкционные материалы для нагревателя и контактов к чувствительному элементу газовых сенсоров
3.1 Выбор конструкционных материалов для нагревателя и контактов к чувствительному элементу газовых сенсоров 52
3.2 Технология формирования нагревателя и контактов к чувствительному элементу газовых сенсоров 54
3.3 Термическая стабильность систем металлизации на основе платины
3.3.1 Системы металлизации Nb-Pt, V-Pt, Mo-Pt 59
3.3.2 Система металлизации Ті—Pt 62
Выводы к главе 3 70
ГЛАВА 4. Технология изготовления тонких пленок диоксида олова для чувствительного элемента газовых сенсоров
4.1 Изготовление пленок диоксида олова методом реактивного магнетронного распыления 71
4.2 Формирование топологии пленок диоксида олова 77
4.3 Термический отжиг пленок диоксида олова 85
Выводы к главе 4 92
ГЛАВА 5. Исследование электрических и газочувствительных свойств тонких пленок диоксида олова и газовых сенсоров на их основе
5.1 Электрические и газочувствительные свойства пленок диоксида олова 94
5.2 Электрические и газочувствительные свойства газовых сенсоров... 100
Выводы к главе 5 106
Основные результаты работы 108
Список использованных источников 110
Приложение 119
