Введение
Глава 1. Микроэлектромеханические системы для датчиков физических величин (обзор литературы)
1.1. Введение 14
1.2. Технология МЭМС 15
1.3. МЭМС двигатели 17
1.4. Модель акселерометра 18
1.5. В иды акселерометров 21
1.6. Туннельный МЭМС сенсор 22
Глава 2. Датчики туннельно-эмиссионных акселерометров
2.1. Введение 26
2.2. Обсуждение конструкции и оптимальной геометрии электродов эмиссионного акселерометра 27
2.3. Экспериментальные исследования эмиссионного акселерометра 31
2.4. Выводы 40
Глава 3. Изготовление и исследование микроконсолей для применений в МЭМС датчиках физических величин
3.1. Введение 41
3.2. Изготовление микроконсолей на основе материалов с различным кристаллическим совершенством 42
3.3. Изучение механических свойств микроконсолей с помощью атомно-силового микроскопа 46
3.4. Обращение изгиба микроконсоли при введении дополнительных упруго-напряженных слоев 52
3.5. Изгиб микроконсолей при изменении температуры 3.6. Исследование электромеханических свойств МЭМС с электростатическим управлением 56
3.7. Выводы 66
Глава 4. Анизотропный пьезоэффект в микроэлектромеханических системах на основе эпитаксиальных гетероструктур GaAs/AlAs и Alo;5Gao,5As/AlAs
4.1. Введение 69
4.2. Пьезоэффект в кристалле GaAs(OOl) 70
4.3. Формирование пьезоэлектрических микроконсолей для МЭМС 80
4.4. Исследование статических и динамических смещений консолей 84
4.5. Выводы 91
Глава 5. Микроэлектромеханический туннельный датчик для акселерометра
5.1. Введение 93
5.2. Изготовление МЭМС структуры с туннельным зазором 94
5.3. Исследование характера токопереноса через зазор в МЭМС на основе структуры кремний на изоляторе 98
5.4. Исследование электромеханических свойств МЭМС с туннельным зазором 98
5.5. Выводы 104
Приложение 1. Технология критического высушивания 105
Приложение 2. Методика измерения разрешения акселерометра 108
Заключение 109
Список цитированной литературы 111
Список работ автора по теме диссертации
