Тонкопленочные сверхпроводниковые структуры из титана для сверхчувствительных криогенных болометров терагерцового диапазона частот
Ильин, Алексей Сергеевич. Тонкопленочные сверхпроводниковые структуры из титана для сверхчувствительных криогенных болометров терагерцового диапазона частот : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 / Ильин Алексей Сергеевич; [Место защиты: Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН].- Черноголовка, 2012.- 87 с.: ил.
