Электрофизические свойства и оптимизация параметров эпитаксиальных псевдоморфных НЕМТ структур с односторонним и двухсторонним дельта - легированием
Климов, Евгений Александрович. Электрофизические свойства и оптимизация параметров эпитаксиальных псевдоморфных НЕМТ структур с односторонним и двухсторонним дельта - легированием : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 / Климов Евгений Александрович; [Место защиты: Моск. гос. техн. ун-т радиотехники, электроники и автоматики].- Москва, 2012.- 152 с.: ил. РГБ ОД, 61 12-1/563
